Molekulyar şüa epitaksiyası və ya MBE, kristal substratlarda kristalların yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrinin yetişdirilməsi üçün yeni bir texnikadır.Ultra yüksək vakuum şəraitində, istilik sobası tərəfindən hər cür tələb olunan komponentlərlə təchiz edilir və şüa atomik və ya molekulyar şüa kolimasiya edildikdən sonra yaranan deliklər vasitəsilə buxar yaradır, monokristal substratın müvafiq temperaturuna birbaşa vurulur, molekulyar şüaya nəzarət edilir. substratın eyni zamanda taranması, bir substratın "böyüməsi" üzərində nazik bir film meydana gətirmək üçün kristal hizalama təbəqələrindəki molekulları və ya atomları edə bilər.

MBE avadanlığının normal işləməsi üçün yüksək təmizlik, aşağı təzyiq və ultra təmiz maye azotun avadanlığın soyuducu kamerasına davamlı və sabit daşınması tələb olunur.Ümumiyyətlə, maye azotla təmin edən çənin çıxış təzyiqi 0,3MPa ilə 0,8MPa arasındadır. -196°C temperaturda maye azot boru kəmərinin nəqli zamanı asanlıqla azotla buxarlanır.Qaz-maye nisbəti təxminən 1:700 olan maye azot boru kəmərində qazlaşdırıldıqdan sonra o, çoxlu miqdarda maye azot axını sahəsini tutacaq və maye azot boru kəmərinin sonundakı normal axını azaldacaq.Bundan əlavə, maye azot saxlama çənində təmizlənməmiş zibil ola bilər.Maye azot boru kəmərində yaş havanın olması da buz şlaklarının yaranmasına səbəb olacaqdır.Bu çirklər avadanlığa axıdılırsa, bu, avadanlıqa gözlənilməz ziyan vurur.

Buna görə də, açıq saxlama çənindəki maye azot tozsuz emalatxanada MBE avadanlığına yüksək məhsuldarlıq, dayanıqlıq və təmizliklə nəql edilir və aşağı təzyiq, azot, çirkləri yoxdur, 24 saat fasiləsiz, belə nəqliyyat nəzarət sistemi keyfiyyətli məhsuldur.