Chip MBE layihəsi son illərdə tamamlandı

Texnologiya

Molekulyar şüa epitaxiyası və ya MBE, kristal substratlarda kristalların yüksək keyfiyyətli nazik filmləri üçün yeni bir texnikadır. Ultra yüksək vakuum şəraitində, istilik sobası tərəfindən hər cür tələb olunan komponentlərlə təchiz olunmuşdur və buxar atomu və ya molekulyar şüa taxıldıqdan sonra meydana gələn çuxurlar vasitəsilə, molekulyar şüa nəzarət etmək, vahid büllur substratın müvafiq temperaturuna birbaşa enjeksiyon Eyni zamanda substrat tarama, molekulları və ya kristal uyğunlaşdırma təbəqələrindəki atomları substratın "böyüməsi" üzərində incə bir film meydana gətirmək üçün edə bilər.

MBE avadanlıqlarının normal işləməsi üçün yüksək saflıq, aşağı təzyiq və ultra təmiz maye azotu, avadanlıqların soyutma otağına sabit və sabit bir şəkildə nəql edilməsi tələb olunur. Ümumiyyətlə, maye azotu təmin edən bir tank 0.3MPA və 0.8MPA.ligid azotu arasında çıxış təzyiqinə malikdir -196 ℃, boru kəməri zamanı azota asanlıqla buforizasiya olunur. Təxminən 1: 700-də qaz-maye nisbəti olan maye azotu boru kəmərində qazılmışdır, çox miqdarda maye azot axını sahəsini tutacaq və maye azot boru kəmərinin sonundakı normal axını azaldacaqdır. Bundan əlavə, maye azot anbarında təmizlənməmiş zibil ola bilər. Maye azot boru kəmərində yaş havanın mövcudluğu da buz şlakının yaranmasına səbəb olacaqdır. Bu çirklər avadanlıqlara axıdılırsa, bu, avadanlıqlara gözlənilməz ziyana səbəb olacaqdır.

Buna görə də açıq saxlama çənindəki maye azot, yüksək səmərəliliyi, sabitliyi və təmizliyi, azot, 24 saat fasiləsiz, 24 saat fasiləsiz, 24 saat fasiləsiz, bu cür nəqliyyat nəzarət sistemidir ixtisaslı bir məhsul.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

MBE avadanlıqlarına uyğun

2005-ci ildən bəri HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) bu sistemi optimallaşdırır və inkişaf etdirir və Beynəlxalq MBE avadanlıq istehsalçıları ilə əməkdaşlıq edir. MBE avadanlıq istehsalçıları, o cümlədən DCA, Reber, şirkətimizlə əməkdaşlıq əlaqələri var. MBE avadanlıq istehsalçıları, o cümlədən DCA və Reber, çox sayda layihədə əməkdaşlıq etdilər.

Riber SA, Molekulyar Beam Epitaxy (MBE) məhsul və mürəkkəb yarımkeçirici tədqiqat və sənaye tətbiqləri üçün əlaqəli xidmətlərin aparıcı qlobal təminatçısıdır. Riber MBE cihazı substratda çox incə bir material qatını, çox yüksək idarələrlə depozit verə bilər. HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) vakuum avadanlığı (HL Cryo), ən böyük avadanlıq Riber 6000 və ən kiçik kompaktdır. Bu, müştərilər tərəfindən tanınmışdır.

DCA dünyanın aparıcı oksid mbedir. 1993-cü ildən bəri oksidləşmə texnikalarının sistemli inkişafı, antioksidant substratın istilik və antioksidan mənbələri həyata keçirilmişdir. Bu səbəbdən bir çox aparıcı laboratoriya DCA oksid texnologiyasını seçdi. Kompozit yarımkeçirici MBE sistemləri dünyada istifadə olunur. HL Cryogenic Təchizatı (HL Cryo) və MBE-nin MBE-nin MBE avadanlıqları DCA-nın MBE avadanlıqları, məsələn, P600, R450, SGC800 və s. Kimi bir çox layihədə uyğun təcrübəyə malikdir.

tcm (2)

Performans masası

Şanxay Texniki Fizika İnstitutu, Çin Elmlər Akademiyası
11-ci Çin Elektron Texnologiyaları İnstitutu Korporasiyası
Yarımkeçiricilər İnstitutu, Çin Elmlər Akademiyası
Huawei
Alibaba Damo Akademiyası
Şirkət Adı Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Time vaxt: May-26-2021

Mesajınızı buraxın