Molekulyar şüa epitaksiyası və ya MBE, kristal substratlarda kristalların yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələrinin yetişdirilməsi üçün yeni bir texnikadır. Ultra yüksək vakuum şəraitində, isitmə sobası tərəfindən hər cür tələb olunan komponentlərlə təchiz edilir və buxar əmələ gətirir, şüa atom və ya molekulyar şüa kolimasiya edildikdən sonra yaranan dəliklər vasitəsilə, monokristal substratın müvafiq temperaturuna birbaşa vurulur, substrata molekulyar şüanın idarə edilməsi eyni zamanda skan edilməsi, molekulların və ya təbəqələrin atomların üzərində bir təbəqə əmələ gətirməsinə imkan verir. substratın "böyüməsi".

MBE avadanlığının normal işləməsi üçün yüksək təmizlik, aşağı təzyiq və ultra təmiz maye azotun avadanlığın soyuducu kamerasına davamlı və sabit daşınması tələb olunur. Ümumiyyətlə, maye azotla təmin edən çənin çıxış təzyiqi 0,3MPa ilə 0,8MPa arasındadır. -196°C temperaturda maye azot boru kəmərinin nəqli zamanı asanlıqla azotla buxarlanır. Qaz-maye nisbəti təxminən 1:700 olan maye azot boru kəmərində qazlaşdırıldıqdan sonra o, çoxlu miqdarda maye azot axını sahəsini tutacaq və maye azot boru kəmərinin sonundakı normal axını azaldacaq. Bundan əlavə, maye azot saxlama çənində təmizlənməmiş zibil ola bilər. Maye azot boru kəmərində yaş havanın olması da buz şlaklarının yaranmasına səbəb olacaqdır. Bu çirklər avadanlığa axıdılırsa, bu, avadanlıqa gözlənilməz ziyan vurur.

Odur ki, açıq hava anbarında olan maye azot tozsuz emalatxanada MBE avadanlığına yüksək səmərəlilik, dayanıqlıq və təmizliklə daşınır və aşağı təzyiq, azot, çirkləri olmayan, 24 saat fasiləsiz, belə daşıma nəzarət sistemi ixtisaslı məhsuldur.