Molekulyar Şüa Epitaksiyası (MBE) haqqında qısa məlumat
Molecular Beam Epitaxy (MBE) texnologiyası 1950-ci illərdə vakuum buxarlanma texnologiyasından istifadə edərək yarımkeçirici nazik film materialları hazırlamaq üçün hazırlanmışdır.Ultra yüksək vakuum texnologiyasının inkişafı ilə texnologiyanın tətbiqi yarımkeçirici elm sahəsinə də genişləndi.
Yarımkeçirici materialların tədqiqinin motivasiyası sistemin işini yaxşılaşdıra bilən yeni cihazlara tələbatdır.Öz növbəsində, yeni material texnologiyası yeni avadanlıq və yeni texnologiya istehsal edə bilər.Molekulyar şüa epitaksiyası (MBE) epitaksial təbəqənin (adətən yarımkeçirici) böyüməsi üçün yüksək vakuum texnologiyasıdır.O, tək kristal substrata təsir edən mənbə atomlarının və ya molekulların istilik şüasından istifadə edir.Prosesin ultra yüksək vakuum xüsusiyyətləri yeni yetişdirilmiş yarımkeçirici səthlərdə in-situ metalizasiyaya və izolyasiya materiallarının böyüməsinə imkan verir, nəticədə çirklənmədən azad interfeyslər yaranır.
MBE Texnologiyası
Molekulyar şüa epitaksiyası yüksək vakuumda və ya ultra yüksək vakuumda (1 x 10) aparılmışdır.-8Pa) mühit.Molekulyar şüa epitaksiyasının ən vacib cəhəti onun aşağı çökmə sürətidir ki, bu da adətən filmin saatda 3000 nm-dən az sürətlə epitaksial böyüməsinə imkan verir.Belə aşağı çökmə sürəti digər çöküntü üsulları ilə eyni təmizlik səviyyəsinə nail olmaq üçün kifayət qədər yüksək vakuum tələb edir.
Yuxarıda təsvir edilən ultra yüksək vakuuma cavab vermək üçün MBE cihazı (Knudsen hüceyrəsi) soyuducu təbəqəyə malikdir və böyümə kamerasının ultra yüksək vakuum mühiti maye azot dövriyyəsi sistemindən istifadə edərək saxlanılmalıdır.Maye azot cihazın daxili temperaturunu 77 Kelvinə (−196 °C) qədər soyudur.Aşağı temperatur mühiti vakuumda çirklərin tərkibini daha da azalda bilər və nazik təbəqələrin çökməsi üçün daha yaxşı şərait təmin edə bilər.Buna görə də, MBE avadanlığının -196 °C maye azotun davamlı və davamlı təchizatını təmin etmək üçün xüsusi maye azot soyutma dövriyyəsi sistemi tələb olunur.
Maye Azot Soyutma Sirkulyasiya Sistemi
Vakuum maye azot soyutma dövriyyəsi sistemi əsasən daxildir,
● kriogen tank
● əsas və qollu vakuum gödəkçəli boru / vakuum gödəkçəli şlanq
● MBE xüsusi faza ayırıcı və vakuum gödəkçəli egzoz borusu
● müxtəlif vakuum gödəkçəli klapanlar
● qaz-maye maneəsi
● vakuum gödəkçəli filtr
● dinamik vakuum nasos sistemi
● Əvvəlcədən soyutma və təmizləmə sistemi
HL Cryogenic Equipment Company, MBE texnologiyası üçün xüsusi MBE maye azot soyutma sistemini və vakuum izolyasiyasının tam dəstini uğurla inkişaf etdirmək üçün MBE maye azot soyutma sisteminə, təşkil edilmiş texniki onurğa tələbinə diqqət yetirdi.edbir çox müəssisələrdə, universitetlərdə və tədqiqat institutlarında istifadə olunan boru sistemi.
HL Kriogen Avadanlıq
1992-ci ildə qurulan HL Cryogenic Equipment, Çindəki Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company şirkətinə bağlı bir markadır.HL Kriogenik Avadanlıq Yüksək Vakuumlu İzolyasiyalı Kriogen Boru Sisteminin və müvafiq Dəstək Avadanlığının dizaynı və istehsalına sadiqdir.
Əlavə məlumat üçün rəsmi internet saytına daxil olunwww.hlcryo.comvə ya e-poçt ünvanına göndərininfo@cdholy.com.
Göndərmə vaxtı: 06 may 2021-ci il