Molekulyar Şüa Epitaksisi (MBE) haqqında qısa məlumat
Molekulyar Şüa Epitaksisi (MBE) texnologiyası 1950-ci illərdə vakuum buxarlanma texnologiyasından istifadə edərək yarımkeçirici nazik təbəqə materiallarını hazırlamaq üçün hazırlanmışdır. Ultra yüksək vakuum texnologiyasının inkişafı ilə texnologiyanın tətbiqi yarımkeçirici elm sahəsinə də genişləndirilmişdir.
Yarımkeçirici materialların tədqiqinin motivasiyası sistemin işini yaxşılaşdıra biləcək yeni cihazlara tələbatdır. Öz növbəsində, yeni material texnologiyası yeni avadanlıq və yeni texnologiyalar yarada bilər. Molekulyar şüa epitaksisi (MBE) epitaksial təbəqənin (adətən yarımkeçirici) böyüməsi üçün yüksək vakuum texnologiyasıdır. O, tək kristal substrata təsir edən mənbə atomlarının və ya molekullarının istilik şüasından istifadə edir. Prosesin ultra yüksək vakuum xüsusiyyətləri yeni yetişdirilmiş yarımkeçirici səthlərdə izolyasiya materiallarının yerində metallaşmasına və böyüməsinə imkan verir və nəticədə çirklənmədən azad interfeyslər yaranır.
MBE Texnologiyası
Molekulyar şüa epitaksisi yüksək vakuumda və ya ultra yüksək vakuumda (1 x 10) aparılmışdır.-8Pa) mühiti. Molekulyar şüa epitaksiyasının ən vacib aspekti onun aşağı çökmə sürətidir ki, bu da adətən filmin saatda 3000 nm-dən az sürətlə epitaksial böyüməsinə imkan verir. Belə aşağı çökmə sürəti digər çökmə üsulları ilə eyni səviyyədə təmizliyə nail olmaq üçün kifayət qədər yüksək vakuum tələb edir.
Yuxarıda təsvir edilən ultra yüksək vakuuma cavab vermək üçün MBE cihazı (Knudsen hüceyrəsi) soyutma təbəqəsinə malikdir və böyümə kamerasının ultra yüksək vakuum mühiti maye azot dövranı sistemi istifadə edilərək saxlanılmalıdır. Maye azot cihazın daxili temperaturunu 77 Kelvin (−196 °C)-yə qədər soyudur. Aşağı temperatur mühiti vakuumdakı çirklərin miqdarını daha da azalda və nazik təbəqələrin çökməsi üçün daha yaxşı şərait yarada bilər. Buna görə də, MBE avadanlığının -196 °C maye azotun davamlı və sabit təchizatını təmin etməsi üçün xüsusi maye azot soyutma dövranı sistemi tələb olunur.
Maye Azot Soyutma Sirkülasiyası Sistemi
Vakuum maye azot soyutma dövriyyəsi sistemi əsasən aşağıdakıları əhatə edir:
● kriogen çəni
● əsas və qol vakuum örtüklü boru / vakuum örtüklü şlanq
● MBE xüsusi faz ayırıcısı və vakuum örtüklü egzoz borusu
● müxtəlif vakuum örtüklü klapanlar
● qaz-maye baryeri
● vakuum örtüklü filtr
● dinamik vakuum nasos sistemi
● Əvvəlcədən soyutma və təmizləyici yenidən isitmə sistemi
HL Cryogenic Equipment Company, MBE maye azot soyutma sisteminə tələbatı, MBE texnologiyası üçün xüsusi MBE maye azot soyutma sistemini uğurla inkişaf etdirmək üçün mütəşəkkil texniki onurğa və vakuum izolyasiyasının tam dəstini qeyd etdi.edbir çox müəssisədə, universitetdə və tədqiqat institutlarında istifadə olunan boru sistemi.
HL Kriogen Avadanlıqları
1992-ci ildə təsis edilmiş HL Cryogenic Equipment, Çində yerləşən Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ilə əlaqəli bir markadır. HL Cryogenic Equipment, Yüksək Vakuum İzolyasiyalı Kriogen Boru Sisteminin və əlaqəli Dəstək Avadanlıqlarının dizaynı və istehsalına sadiqdir.
Daha ətraflı məlumat üçün rəsmi veb saytına daxil olunwww.hlcryo.comvə ya e-poçt ünvanınainfo@cdholy.com.
Yayımlanma vaxtı: 06 may 2021
