Molekulyar şüa epitaxy (MBE)
Molekulyar şüa epitaxiyası (MBE) texnologiyası, 1950-ci illərdə vakuum buxarlanması texnologiyasından istifadə edərək yarımkeçirici nazik film materialları hazırlamaq üçün hazırlanmışdır. Ultra yüksək vakuum texnologiyasının inkişafı ilə texnologiyanın tətbiqi yarımkeçirici elm sahəsinə genişləndirilmişdir.
Yarımkeçirici materialların araşdırmasının motivasiyası sistemin fəaliyyətini yaxşılaşdıra biləcək yeni cihazlara olan tələbdir. Öz növbəsində yeni material texnologiyası yeni avadanlıq və yeni texnologiya yarada bilər. Molekulyar şüa epitaxiyası (MBE) epitaxial təbəqə (adətən yarımkeçirici) böyümə üçün yüksək vakuum texnologiyasıdır. Tək kristal substrata təsir edən mənbə atomlarının və ya molekulların istilik şüası istifadə edir. Prosesin ultra yüksək vakuum xüsusiyyətləri, in-yuun içərisində metalizasiya və yeni yetişmiş yarımkeçirici səthlərdə izolyasiya materiallarının böyüməsinə imkan verir, nəticədə çirklənmə azadolunan interfeyslərlə nəticələnir.
MBE texnologiyası
Molekulyar şüa epiteti yüksək bir vakuum və ya ultra yüksək vakuumda həyata keçirildi (1 x 10)-8PA) Ətraf mühiti. Molekulyar şüa epitaxyının ən vacib tərəfi, ümumiyyətlə, filmin epitaksial-a saatda 3000 Nm-dən az dərəcədə böyüdüyünə imkan verən aşağı çökmə dərəcəsidir. Belə bir aşağı çökmə dərəcəsi digər çökmə metodları kimi eyni səviyyədə təmizlik səviyyəsinə çatmaq üçün kifayət qədər yüksək bir vakuum tələb edir.
Yuxarıda təsvir olunan ultra yüksək vakuumla tanış olmaq üçün MBE cihazı (Knudsen hücrəsi) soyutma qatına malikdir və böyümə otağının ultra yüksək vakuum mühiti maye azot dövriyyə sistemindən istifadə etməklə qorunmalıdır. Maye azot cihazın daxili temperaturunu 77 kelvinə (-196 ° C) qədər soyurur. Aşağı temperatur mühiti vakuumdakı çirklərin məzmununu daha da azalda bilər və nazik filmlərin çökməsinə daha yaxşı şərait yaradır. Buna görə MBE avadanlığı üçün Davamlı və davamlı bir tədarük təmin etmək üçün xüsusi bir maye azot soyutma dövriyyə sistemi tələb olunur.
Maye azot soyutma dövranı sistemi
Vakuum maye azot soyutma dövranı sistemi əsasən daxildir,
● kriogen tank
● Əsas və filial vakuum gödəkçəli boru / vakuum gödəkçəli hortum
● MBE xüsusi faza ayırıcı və vakuum gödəkçəli egzoz borusu
● Müxtəlif vakuum gödəkçəli klapanlar
● Qaz-maye maneə
● vakuum gödəkçəli filtr
● Dinamik vakuum nasos sistemi
● Öncədən hazırlama sistemi
HL Cryogenic Equipment şirkəti MBE maye azot soyutma sisteminin tələbini, MBE texnologiyası üçün xüsusi bir MBE maye azotu sisteminin və tam vakuum insulatının tam dəsti ilə uğurla inkişaf etdirmək üçün mütəşəkkil texniki dayaqedBir çox müəssisə, universitet və tədqiqat institutlarında istifadə olunan boru sistemi.
HL Kriogen avadanlıq
1992-ci ildə qurulan HL Cryogenic avadanlığı Çində Chengdu Holy Cryogenic Təchizat Şirkətinə bağlı bir markadır. HL Cryogenic avadanlığı yüksək vakuum izolyasiya edilmiş kriogen boru kəməri sisteminin və əlaqədar dəstək avadanlıqlarının dizaynı və istehsalına sadiqdir.
Daha çox məlumat üçün rəsmi veb saytına müraciət edinwww.hlcryo.comvə ya e-poçtlainfo@cdholy.com.
Time vaxt: May-06-2021
