Maye azot soyutma sistemləri, yarımkeçirici və çip sənayesində, o cümlədən prosesdə geniş istifadə olunur,
- Molekulyar şüa epitaxy (MBE) texnologiyası
- COB paketindən sonra çip testi
Əlaqəli məhsullar
Vakuum izolyasiya edilmiş boru seriyası
Vakuum izolyasiya edilmiş çevik şlanq seriyası
Dinamik vakuum nasos sistemi
Vakuum izolyasiya edilmiş faza ayırıcı seriyası
Vakuum izolyasiya edilmiş valve seriyası
Boru kəmərləri Sistemi Dəstək Avadanlıqları
Molekulyar şüa epitaxy
Molekulyar şüa epitaxiyası (MBE) texnologiyası, 1950-ci illərdə vakuum buxarlanması texnologiyasından istifadə edərək yarımkeçirici nazik film materialları hazırlamaq üçün hazırlanmışdır. Ultra yüksək vakuum texnologiyasının inkişafı ilə texnologiyanın tətbiqi yarımkeçirici elm sahəsinə genişləndirilmişdir.
HL, MBE maye azot soyutma sisteminin, MBE texnologiyası üçün xüsusi MBE maye azotlu bir sistem və tam müəssisə, universitetlərdə və tədqiqat institutlarında istifadə olunan tam vakuum izolyasiya edilmiş boru kəməri sisteminin uğurla inkişaf etdirmə sisteminin tələbini gördü. .
Yarımkeçirici və çip sənayesinin ümumi problemləri,
- Maye azotun terminalına (MBE) avadanlıqlarına təzyiqi. Zərər çəkən terminal (MBE) avadanlıqlarından təzyiqin həddindən artıq yüklənməsinin qarşısını al.
- Birdən çox kriogenik maye giriş və çıxış idarələri
- Maye azotun temperaturu terminal avadanlıqlarına
- Ağlabatan miqdarda kriogen qaz tullantıları
- (Avtomatik) əsas və filial xəttlərinin dəyişdirilməsi
- Təzyiq tənzimlənməsi (azaltmaq) və VIP sabitliyi
- Tankdan mümkün çirkləri və buz qalıqlarını təmizləmək
- Terminal maye avadanlıqlarının doldurulması
- Boru kəməri
- VIP sistemində maye müqavimət
- Sistemin dayandırılmamış xidməti zamanı maye azot itkisi
HL'nin vakuum izolyasiya edilmiş borusu (VIP), Standart olaraq B31.3 Təzyiq Boru Koduna qədər qurulmuşdur. Mühəndislik təcrübəsi və müştərinin bitkisinin səmərəliliyini və səmərəliliyini təmin etmək üçün keyfiyyətə nəzarət qabiliyyəti.
Həlli
HL Cryogenic avadanlığı, yarımkeçirici və çip sənayesinin tələblərinə və şərtlərinə cavab vermək üçün vakuum izolyasiya edilmiş boru sistemi ilə müştərilərə təqdim edir:
1.Quity İdarəetmə Sistemi: Asme B31.3 Təzyiq boru kodu.
2.A, çoxsaylı kriogen maye girişi və avtomatik idarəetmə funksiyası olan bir çox kriogen maye girişi olan xüsusi mərhələ ayırıcı, qaz emissiyasının tələbi, təkrarlanan maye azot və maye azot temperaturu tələb olunur.
3.Aduate və vaxtında işlənmiş işlənmiş dizayn, terminal avadanlıqlarının həmişə dizayn edilmiş təzyiq dəyəri daxilində işləməsini təmin edir.
4. Qaz-maye maneəsi VI boru kəmərinin sonundakı şaquli VI borusuna yerləşdirilib. Qaz-maye maneə, VI boru kəmərinin sonundan etibarən VI boru kəmərinin sonundan istiliyi maneə törətmək və sistemin dayandırılması və aralıq xidməti zamanı maye azot itkisini effektiv şəkildə azaltmaq üçün qaz möhürü prinsipindən istifadə edir.
5.Vi boru kəməri Tozsorulmuş valve (VIV) seriyası (VIV) seriyası (pnevmatik) bağlanmış klapan, vakuum izolyasiya edilmiş çek klapanı, vakuum izolyasiya edilmiş tənzimləyici klapan və s. VIP-i idarə etmək üçün modul ola bilər tələb olunur. VIV, yerində izolyasiya edilmiş müalicə olmadan istehsalçıda VIP prefabrikatı ilə birləşdirilmişdir. VİV-nin möhür vahidi asanlıqla dəyişdirilə bilər. (HL, müştərilərin təyin etdiyi kriogen valve markasını qəbul edir və sonra vakuum izolyasiya edilmiş klapanları HL tərəfindən qəbul edir. Bəzi markalar və klapan modelləri vakuum izolyasiya edilmiş klapanlara çevrilə bilməz.)
6. Daxili boru səthində təmizlik üçün əlavə tələblər varsa. Müştərilərin paslanmayan polad tökülməsini daha da azaltmaq üçün VIP daxili borular kimi BA və ya EP paslanmayan polad boruları seçməsi təklif olunur.
7.Vacuum izolyasiya edilmiş filtr: tankdan mümkün çirkləri və buz qalıqlarını təmizləyin.
8. Bir neçə gün və ya daha uzun müddət bağlantı və ya istismardan sonra, kriogen maye sonra buzoogen mayedən sonra buzgogen maye daxil edilməmişdən əvvəl, VI boru kəməri və terminal avadanlıqlarının qarşısına qoyulması çox zəruridir. Dizayn işləməsi üçün məşq funksiyası nəzərə alınmalıdır. Terminal avadanlıqları və vi boru kəməri dəstək avadanlıqları üçün daha yaxşı qorunma təmin edir.
9. Həm dinamik, həm də statik vakuum izolyasiya edilmiş (çevik) boru sistemi üçün.
10. ). Tək VI çevik hortumun uzunluğu istifadəçinin tələblərinə uyğun olaraq düzəldilə bilər.
11.Qiymət növləri: vakuum süngü bağlantısı (VBC) tipli və qaynaqlı bağlantı seçilə bilər. VBC tipinə yerində izolyasiya edilmiş müalicəyə ehtiyac yoxdur.
