Maye azot soyutma sistemləri yarımkeçirici və çip sənayesində geniş istifadə olunur, o cümlədən,
- Molekulyar Şüa Epitaksiyası (MBE) texnologiyası
- COB paketindən sonra çipin testi
Əlaqədar Məhsullar
Vakuum İzolyasiyalı Boru Seriyası
Vakuum izolyasiyalı çevik şlanqlar seriyası
Dinamik vakuum nasos sistemi
Vakuum İzolyasiyalı Faza Separator Seriyası
Vakuum İzolyasiyalı Valf Seriyası
Boru Sistemi Dəstək Avadanlığı
MOLEKULAR ŞÜA EPİTAKSİSİ
Molecular Beam Epitaxy (MBE) texnologiyası 1950-ci illərdə vakuum buxarlanma texnologiyasından istifadə edərək yarımkeçirici nazik film materialları hazırlamaq üçün hazırlanmışdır. Ultra yüksək vakuum texnologiyasının inkişafı ilə texnologiyanın tətbiqi yarımkeçirici elm sahəsinə də genişləndi.
HL MBE maye azot soyutma sisteminə, MBE texnologiyası üçün xüsusi MBE maye azot soyutma sistemini və bir çox müəssisə, universitet və elmi-tədqiqat institutlarında istifadə edilən vakuum izolyasiyalı boru sisteminin tam dəstini uğurla inkişaf etdirmək üçün təşkil edilmiş texniki magistral tələbini qeyd etdi. .
Yarımkeçirici və çip sənayesinin ümumi problemlərinə aşağıdakılar daxildir:
- Terminal (MBE) Avadanlığına Maye Azotun Təzyiqləri. Terminalın (MBE) Avadanlığının zədələnməsi nəticəsində təzyiqin həddindən artıq yüklənməsinin qarşısını alın.
- Çoxlu Kriogen Maye Giriş və Çıxış Nəzarətləri
- Terminal Avadanlıqlarına Maye Azotun Temperaturu
- Kriogen qaz emissiyalarının məqbul miqdarı
- (Avtomatik) Əsas və Şöbə xətlərinin dəyişdirilməsi
- VIP-in Təzyiq Tənzimlənməsi (Azaldılması) və Sabitliyi
- Tankdan Mümkün Çirkləri və Buz Qalıqlarını Təmizləmək
- Terminal Maye Avadanlığının Doldurulma Vaxtı
- Boru kəmərinin əvvəlcədən soyudulması
- VIP Sistemdə Maye Müqaviməti
- Sistemin fasiləsiz istismarı zamanı maye azot itkisinə nəzarət
HL-nin Vakuum İzolyasiyalı Borusu (VIP) standart olaraq ASME B31.3 Təzyiq Boruları koduna uyğun qurulub. Müştərinin zavodunun səmərəliliyini və qənaətcilliyini təmin etmək üçün mühəndislik təcrübəsi və keyfiyyətə nəzarət qabiliyyəti.
HƏLLLER
HL Cryogenic Equipment müştərilərə yarımkeçirici və çip sənayesinin tələb və şərtlərinə cavab vermək üçün Vakuum İzolyasiyalı Boru Sistemi ilə təmin edir:
1.Keyfiyyət İdarəetmə Sistemi: ASME B31.3 Təzyiq Boru Kodları.
2.Avtomatik idarəetmə funksiyası ilə Çox Kriogen Maye Girişi və Çıxışı olan Xüsusi Faza Separatoru qaz emissiyası, təkrar emal edilmiş maye azot və maye azotun temperaturu tələblərinə cavab verir.
3.Adekvat və vaxtında buraxılış dizaynı terminal avadanlığının həmişə nəzərdə tutulmuş təzyiq dəyəri daxilində işləməsini təmin edir.
4. Qaz-maye maneəsi VI boru kəmərinin sonunda şaquli VI boruya yerləşdirilir. Qaz-maye Baryeri, VI boru kəmərinin ucundan VI Boru kəmərinə istiliyin qarşısını almaq və sistemin fasiləsiz və fasiləli xidməti zamanı maye azot itkisini effektiv şəkildə azaltmaq üçün qaz möhürləmə prinsipindən istifadə edir.
5.Vakuum izolyasiyalı klapan (VIV) seriyası ilə idarə olunan VI boru kəmərləri: Vakuum izolyasiyalı (pnevmatik) bağlama klapan, vakuum izolyasiyalı yoxlama klapan, vakuum izolyasiyalı tənzimləyici klapan və s. tələb olunur. VIV, yerində izolyasiya edilmədən, istehsalçıda VIP prefabrikası ilə inteqrasiya edilmişdir. VIV möhür qurğusu asanlıqla dəyişdirilə bilər. (HL müştərilərin təyin etdiyi kriogen klapan markasını qəbul edir və sonra HL tərəfindən vakuum izolyasiyalı klapanlar istehsal edir. Bəzi marka və model klapanlar vakuum izolyasiyalı klapanlara çevrilə bilməz.)
6.Təmizlik, borunun daxili səthinin təmizliyinə əlavə tələblər olduqda. Müştərilərə paslanmayan polad tökülməsini daha da azaltmaq üçün VIP daxili borular kimi BA və ya EP paslanmayan polad boruları seçmələri təklif olunur.
7. Vakuum İzolyasiyalı Filtr: Mümkün çirkləri və buz qalıqlarını tankdan təmizləyin.
8.Bir neçə gün və ya daha uzun müddət dayandırıldıqdan və ya təmir edildikdən sonra, kriogen mayenin VI Boru kəmərinə və terminal avadanlığına birbaşa daxil olmasından sonra buz şlakının qarşısını almaq üçün VI Boru kəmərini və terminal avadanlığını kriogen maye daxil etməzdən əvvəl əvvəlcədən soyutmaq çox lazımdır. Dizaynda əvvəlcədən soyutma funksiyası nəzərə alınmalıdır. O, terminal avadanlığı və klapanlar kimi VI Boru dəstək avadanlığı üçün daha yaxşı qorunma təmin edir.
9. Həm Dinamik, həm də Statik Vakuum İzolyasiyalı (Elastik) Boru Sistemi üçün uyğundur.
10.Dinamik Vakuum İzolyasiyalı (Çevik) Boru Sistemi: VI Çevik Şlanqlardan və/və ya VI Borudan, Jumper Şlanqlarından, Vakuum İzolyasiyalı Valf Sistemindən, Faza Ayırıcılarından və Dinamik Vakuum Nasos Sistemindən (vakuum nasosları, elektromaqnit klapanlar və vakuum klapanları və s. daxil olmaqla) ibarətdir. ). Tək VI Flexible Hortumun uzunluğu istifadəçinin tələblərinə uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
11.Müxtəlif Bağlantı Növləri: Vakuum Süngü Bağlantısı (VBC) Tipi və Qaynaqlı Bağlantı seçilə bilər. VBC tipinin yerində izolyasiya edilmiş müalicəyə ehtiyacı yoxdur.
