Maye azot soyutma sistemləri yarımkeçirici və çip sənayesində, o cümlədən proseslərdə geniş istifadə olunur.
- Molekulyar Şüa Epitaksisi (MBE) texnologiyası
- COB paketindən sonra çipin sınağı
Əlaqəli Məhsullar
Vakuum İzolyasiyalı Boru Seriyası
Vakuum İzolyasiyalı Çevik Şlanq Seriyası
Dinamik Vakuum Nasos Sistemi
Vakuum İzolyasiyalı Faza Ayırıcı Seriyası
Vakuum İzolyasiyalı Klapan Seriyası
Boru Sistemi Dəstək Avadanlıqları
MOLEKULYAR ŞÜA EPİTAKSİYASI
Molekulyar Şüa Epitaksisi (MBE) texnologiyası 1950-ci illərdə vakuum buxarlanma texnologiyasından istifadə edərək yarımkeçirici nazik təbəqə materiallarını hazırlamaq üçün hazırlanmışdır. Ultra yüksək vakuum texnologiyasının inkişafı ilə texnologiyanın tətbiqi yarımkeçirici elm sahəsinə də genişləndirilmişdir.
HL, MBE maye azot soyutma sisteminə tələbatı, MBE texnologiyası üçün xüsusi MBE maye azot soyutma sistemini uğurla inkişaf etdirmək üçün mütəşəkkil texniki əsas və bir çox müəssisədə, universitetdə və tədqiqat institutlarında istifadə olunan vakuum izolyasiyalı boru sistemi dəstini qeyd etmişdir.
Yarımkeçirici və çip sənayesinin ümumi problemlərinə aşağıdakılar daxildir:
- Maye azotun Terminal (MBE) Avadanlığına Təzyiqi. Terminal (MBE) Avadanlığının Zədələnməsindən Təzyiq Həddindən Artıq Yüklənməsinin Qarşısını Alın.
- Çoxlu Kriogen Maye Giriş və Çıxış Nəzarətləri
- Maye azotun Terminal Avadanlığına Temperaturu
- Ağlabatan miqdarda kriogen qaz emissiyası
- Əsas və filial xətlərinin (Avtomatik) kommutasiyası
- VIP-in Təzyiq Tənzimlənməsi (Azaldılması) və Sabitliyi
- Çəndən Mümkün Çirkləri və Buz Qalıqlarını Təmizləmək
- Terminal Maye Avadanlığının Doldurma Müddəti
- Boru kəmərinin əvvəlcədən soyudulması
- VIP Sistemində Maye Müqaviməti
- Sistemin Fasiləsiz Xidməti Zamanı Maye Azot İtkisinin Nəzarəti
HL-in Vakuum İzolyasiyalı Borusu (VIP) standart olaraq ASME B31.3 Təzyiqli Boru Kəməri koduna uyğun olaraq istehsal olunur. Müştərinin zavodunun səmərəliliyini və xərc baxımından səmərəliliyini təmin etmək üçün mühəndislik təcrübəsi və keyfiyyətə nəzarət qabiliyyəti.
HƏLLƏR
HL Cryogenic Equipment, yarımkeçirici və çip sənayesinin tələblərinə və şərtlərinə cavab vermək üçün müştərilərə Vakuum İzolyasiyalı Boru Sistemi təqdim edir:
1. Keyfiyyət İdarəetmə Sistemi: ASME B31.3 Təzyiq Boru Kəməri Kodu.
2. Avtomatik idarəetmə funksiyasına malik çoxlu kriogen maye girişi və çıxışı olan xüsusi fazalı ayırıcı qaz emissiyası, təkrar emal olunmuş maye azot və maye azotun temperaturu tələblərinə cavab verir.
3. Adekvat və vaxtında işlənmiş egzoz dizaynı terminal avadanlıqlarının həmişə nəzərdə tutulmuş təzyiq dəyərində işləməsini təmin edir.
4. Qaz-maye bariyeri VI boru kəmərinin sonundakı şaquli VI boruya yerləşdirilir. Qaz-maye bariyeri, VI boru kəmərinin ucundan VI Boru kəmərinə istiliyin qarşısını almaq və sistemin fasiləli və fasiləli xidməti zamanı maye azot itkisini effektiv şəkildə azaltmaq üçün qaz möhürləmə prinsipindən istifadə edir.
5.VI Vakuum İzolyasiyalı Klapan (VIV) Seriyası ilə İdarə Olunan Boru Kəməri: Vakuum İzolyasiyalı (Pnevmatik) Bağlama Klapanı, Vakuum İzolyasiyalı Yoxlama Klapanı, Vakuum İzolyasiyalı Tənzimləyici Klapan və s. Daxildir. VIP-i lazım olduqda idarə etmək üçün müxtəlif növ VIV modulyar şəkildə birləşdirilə bilər. VIV, yerində İzolyasiya Emalı olmadan istehsalçıda VIP prefabrikasiyası ilə inteqrasiya olunur. VIV-in möhür bölməsi asanlıqla dəyişdirilə bilər. (HL, müştərilər tərəfindən təyin edilmiş kriogen klapan markasını qəbul edir və sonra HL tərəfindən vakuum izolyasiyalı klapanlar istehsal edir. Bəzi klapan markaları və modelləri vakuum izolyasiyalı klapanlara çevrilə bilməz.)
6. Daxili boru səthinin təmizliyi üçün əlavə tələblər varsa, təmizlik. Paslanmayan poladın tökülməsini daha da azaltmaq üçün müştərilərə VIP daxili borular kimi BA və ya EP paslanmayan polad boruları seçmələri tövsiyə olunur.
7. Vakuum İzolyasiyalı Filtr: Çəndəki mümkün çirkləri və buz qalıqlarını təmizləyin.
8. Bir neçə gün və ya daha uzun müddətli bağlanmadan və ya texniki xidmətdən sonra, kriogen mayenin birbaşa VI Boru Kəmərinə və terminal avadanlıqlarına daxil olmasından sonra buz şlaklarının qarşısını almaq üçün VI Boru Kəmərini və terminal avadanlıqlarını kriogen maye daxil etməzdən əvvəl əvvəlcədən soyutmaq çox vacibdir. Əvvəlcədən soyutma funksiyası dizaynda nəzərə alınmalıdır. Bu, terminal avadanlıqları və klapanlar kimi VI Boru Kəmərinin dəstəkləyici avadanlıqları üçün daha yaxşı qorunma təmin edir.
9. Həm Dinamik, həm də Statik Vakuum İzolyasiyalı (Çevik) Boru Sistemi üçün uyğundur.
10. Dinamik Vakuum İzolyasiyalı (Çevik) Boru Sistemi: VI Çevik Şlanqlardan və/və ya VI Borudan, Keçirici Şlanqlardan, Vakuum İzolyasiyalı Klapan Sistemindən, Faza Ayırıcılarından və Dinamik Vakuum Nasos Sistemindən (vakuum nasosları, solenoid klapanlar və vakuum ölçənlər və s. daxil olmaqla) ibarətdir. Tək VI Çevik Şlanqın uzunluğu istifadəçinin tələblərinə uyğun olaraq tənzimlənə bilər.
11. Müxtəlif Qoşulma Növləri: Vakuum Bayonet Qoşulma (VBQ) Növü və Qaynaqlanmış Qoşulma seçilə bilər. VBQ növünün yerində izolyasiya işlənməsi tələb olunmur.
